真空断路器本体部分由导电回路，绝缘系统，密封件和壳体组成。整体结构为三相共箱式。其中导电回路由进出线导电杆，进出线绝缘支座，导电夹，软连接与真空灭弧室连接而成。真空断路器利用高真空中电流流过零点时，等离子体迅速扩散而熄灭电弧，完成切断电流的目的。
真空具有很强的绝缘特性，在真空断路器中，气体非常稀薄，气体分子的自由行程相对较大，发生相互碰撞的几率很小，因此，碰撞游离不是真空间隙击穿的主要原因，而在高强电场作用下由电极析出的金属质点才是引起绝缘破坏的主要因素。
此装置的工作原理与其他断路器相比之是灭弧介质不同罢了，真空不存在导电介质，使电弧快速熄灭，一般用于电压等级相对低的厂用电配置中。
在电力工程应用中，真空断路器防跳起保护作用，需要继电器控制，在合闸信号没有去除情况下，合闸动作后，合闸回路断开，确保在某些状况下系统控制断路器分闸后，断路器马上合闸。
由于真空断路器的燃弧时间短，绝缘强度高，电气寿命也较高，触头的开距与行程小，操作的能量小，机械寿命也较高。尽管在日常的运行中，真空断路器的维护工作量很小，但是跟其他的电力系统装置一样，做必要的防护工作是不能少的。主要检查机构的运动部件磨损情况，紧固件有无松动，清除绝缘表面的灰尘，在活动部位注入一些润滑脂等。
